Accessories

88nm Step Standard with ZYGO Certification

SKU: 6300-0917-01

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50X 0.55NA Mirau Objective lens

SKU: 6300-0597-01

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20X 0.40NA AF Mirau objective

SKU: 6300-0595-01

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1X, 0.03NA LWD turret mountable Michelson objective Lens

SKU: 6300-0318-01

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1X, 0.03NA SLWD Michelson objective Lens

SKU: 6300-0307-01

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Focus Grating

SKU: 1373-000-003

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